深圳技术大学阮双琛：建议重点支持建半导体微纳光电加工中心

近日，在深圳市政协七届三次会议、深圳市七届人大四次会议上，深圳市政协常委、深圳技术大学校长阮双琛针对半导体产业发展问题，建议重点支持深圳技术大学建半导体微纳光电加工中心，鼓励和支持全市企业使用深圳技术大学半导体微纳光电加工平台和集成电路中试平台。

图片来源 : 深圳市教育局

阮双琛在提案中建议，从服务中芯深圳、华润微、鹏芯微、晟维旭等集成电路核心制造项目、形成技术迭代内循环的战略布局统筹考虑，抢抓战略机遇窗口期，重点支持深圳技术大学等高校尽快建设半导体微纳光电加工中心，同时推动产业与高校科研机构的合作，建设开放性的集成电路中试线。

当前，国内现有的工艺平台大多不具备完整的化合物半导体的设备和工艺能力，研发水平低，光电芯片总体水平落后，尚未形成完整的生态系统。亟须建立集前沿研发、技术转化、产业服务、人才培养于一体的生态链，建成一个系统完整、职业化运营的国际领先的芯片加工平台。

阮双琛表示，深圳技术大学集成电路与光电芯片学院现已具备与企业合作开发芯片的实践经验，使用、建设、运营半导体平台的团队经验丰富。他还介绍，该学院院长宁存政教授带领课题组开展了大量研究，已经取得多项研究成果：芯片激光器、硅基光电子集成方面，片上半导体纳米激光器达到国际领先水平；射频芯片方面，与多家地方企业合作开展SAW/BAW芯片研究，申请相关中国发明专利3项。

具体来看，拟建设的半导体微纳光电加工中心致力于打造成深圳市的公共技术服务平台，助力企业、科研机构半导体芯片制造工艺开发以及器件研制，促进全市的创新创业和人才培养。中心包括百级千级和万级超净区域，配备光刻、薄膜、刻蚀、炉管等生产和测试设备，具备光电芯片、MEMS芯片、第三代半导体芯片、新型微纳器件的制备能力，兼具小批量样品制造的验证功能，现已完成装修设计方案。

阮双琛还表示，希望深圳技术大学半导体微纳光电加工平台和集成电路中试平台，能进一步助力解决深圳市在培育集聚国产半导体材料设备企业（项目）缺失战略性试验线及中试线的掣肘问题，打通半导体与集成电路产业链上下游，强化“产业链、创新链、人才链、教育链”深度有机协同，推动产教融合的高质量发展，为我国在半导体与集成电路领域摆脱关键材料和核心设备“受制于人”局面做出深圳先行示范贡献。